Техническая механика микросистем
Тимофеев В.Н., Погалов А.И., Угольников С.В., Андрианов А.М., Панкратов О.В., Под ред. В.Н. Тимофеева
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.;Гриф:Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Феде- рации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 «Электроника и микроэлектроника» по специальностям 210108 «Микросистемная техника» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
عام:
2015
الإصدار:
4
الناشر:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
اللغة:
russian
الصفحات:
179
ISBN 10:
5996330016
ISBN 13:
9785996330010
سلسلة الكتب:
МИЭТ
ملف:
PDF, 1.87 MB
IPFS:
,
russian, 2015