Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 1-2,с.94-97.
Изучено два типа наноструктурных покрытий TiN: полученных по традиционной технологии
и с приложением к подложке высоковольтных импульсов. Проведено сопоставление данных
для обоих типов наноструктурных покрытий по цветовым характеристикам, рентгеноструктурным исследованиям, фрактографиям изломов и на предмет наличия частиц капельной фазы, а также по измерению твердости наноиндентированием. Обнаружено формирование сверхтвердых наноструктурных TiN покрытий, не содержащих в объеме частиц капельной фазы, при наложении на подложку дополнительных высоковольтных импульсов.